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名词解释题

离子注入

发布日期:2020-12-11

离子注入

试题解析

离子注入掺杂

离子注入掺杂是采用离子注入方式达到掺杂的目的。

中文名
离子注入掺杂
外文名
ion implantation doping

脉冲离子注入

脉冲离子注入,利用脉冲离子束进行的离子注入过程。

连续离子注入

利用连续(直流)离子束进行的离子注入过程。

标签: 离子注入

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