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离子注入
离子注入的能量远低于离子刻蚀和离子溅射沉积。
离子注入与热扩散相比,哪个横向效应小()
简述离子注入工艺中退火的主要作用?
离子注入工艺中被掺杂的材料称为靶,靶材料可以是晶体,也可以是非晶体,非晶靶也称为无定形靶。
离子注入主要部件有哪些?
列举离子注入设备的5个主要子系统。
简述离子注入机的各部分工作原理?
简述离子注入退火目的与方法。
什么是离子注入时的沟道效应?列举出三种控制沟道效应的方法?