简述沉积多晶硅采用什么CVD工具?掺杂的Poly-Si的主要用途。写出掺杂的Poly-Si做栅电极的6个原因。
青海黄河水电多晶硅项目是我国第几套电子级多晶硅项目()
侧墙用来环绕多晶硅栅,防止更大剂量的源漏注入过于接近沟道以致可能发生源漏穿通。
多晶硅太阳能电池盖板应采用:()。
在多晶硅薄膜制造装置中也可使用RTP,将得到的灯光用()聚光,然后缓慢地移动位置,使多晶硅薄膜再结晶化。
多晶硅的特点是什么?
对于铸造多晶硅氧浓度越(),钝化效果越(),少数载流子寿命增加越()
侧墙用来环绕多晶硅栅,防止更大剂量的源漏注入过于接近沟道以致可能发生源漏穿通。
铸造多晶硅中氢的主要作用包括()
制约铸造多晶硅材料少子寿命的主要因素不包括()