问答题
外延生长的方法有哪几种？
发布日期：2020-12-11
试题解析
外延生长
外延生长是指在单晶衬底（基片）上生长一层有一定要求的、与衬底晶向相同的单晶层，犹如原来的晶体向外延伸了一段。外延生长技术发展于50年代末60年代初。当时，为了制造高频大功率器件，需要减小集电极串联电阻，又要求材料能耐高压和大电流，因此需要在低阻值衬底上生长一层薄的高阻外延层。外延生长的新单晶层可在导电类型、电阻率等方面与衬底不同，还可以生长不同厚度和不同要求的多层单晶，从而大大提高器件设计的灵活性和器件的性能。外延工艺还广泛用于集成电路中的PN结隔离技术（见隔离技术）和大规模集成电路中改善材料质量方面。
- 中文名
- 外延生长
- 方法
- 减小集电极串联电阻
- 外文名
- epitaxial growth
- 途径
- 气相外延工艺
法有
佛学术语，谓一切诸法，皆从因缘而生；缘合则成，缘散则灭，本无自性。虽无自性，非如兔角龟毛，有名无实，故名法有。
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