判断题
在一个化学气相淀积工艺中，如果淀积速率是反应速率控制的，则为了显著增大淀积速率，应该增大反应气体流量。
发布日期：2020-12-11
对
错
试题解析
化学气相淀积
化学气相淀积指把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸气及反应所需其它气体引入反应室，在衬底表面发生化学反应生成薄膜的过程。在超大规模集成电路中很多薄膜都是采用CVD方法制备。
- 中文名
- 化学气相淀积
- 原料
- 气态反应剂或液态反应剂的蒸气
- 特点
- 淀积温度低，薄膜成份易控
- 外文名
- Chemical Vapor Deposition
- 应用
- 无机新材料制备
- 简称
- CVD技术
化学反应速率
化学反应速率是指表示化学反应进行的快慢。通常以单位时间内反应物或生成物浓度的变化值（减少值或增加值）来表示，反应速度与反应物的性质和浓度、温度、压力、催化剂等都有关，如果反应在溶液中进行，也与溶剂的性质和用量有关。其中压力关系较小(气体反应除外），催化剂影响较大。可通过控制反应条件来控制反应速率以达到某些目的。
- 中文名
- 化学反应速率
- 定义
- v=dζ/dt，v=dc/dt,v=△c/△t
- 外文名
- chemical reaction rate
- 单位
- mol/(L·s)【(L·min）(L·h)】
率是
率是，是一个汉语词语，意思是遵循此正理并为范例。
- 中文名
- 率是
- 出处
- 《箕子碑》
- 释义
- 遵循此正理并为范例
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